반도체, 유틸리티, 산업설비 시공과 제품을 제공합니다.
Gas Supply Equipment System
최적의 안전 규격과 고순도 가스 전송 기술이 집약된 장비 리스트입니다.
소량 또는 대용량의 특수가스를 공급하는 장치로 가스 누출 시 감지할 수 있는 각종 안전장치의 설치 및 프로그램에 의한 automatic 운전을 통해 운영자의 조작 실수를 방지하여 안전하게 가스를 공급합니다.
| 구분 | 상세 규격 및 사양 |
|---|---|
| 공급방식 | 자동공급(Auto Change System) |
| 제어방식 | PLC & TOUCH (전자동시스템) |
| 공급용기 | 기본 47L, 특주 대응 가능(10L – 54L외) |
| 공급유량 | 100SLPM(Max.Flow@N2) / Normal 30SLPM (대유량 대응 가능) |
| 공급압력 | 0.1-0.9Mpa (2차 고압은 특주 대응 가능) |
Gas Treatment Equipment System
반도체 공정에서 발생 되는 유해 가스는 물론 난분해성 가스인 PFCs 가스를 처리하는 장치이다. 열원 / 습식 / 화학흡착 / 플라즈마등 환경에 맞는 여러 방식으로 유해 가스를 안전하게 처리하는 장치
가스 공급, 정제, 처리 장치 및 칠러 시스템까지, 독성 및 유해가스로부터 안전을 완벽하게 보장하는 최상의 커스텀 설비를 제안합니다. 지금 전문가와 상담하세요.
Gas Purifier Equipment System
반도체공정에서 사용되는 가스는 초 고순도를 요구 됩니다. PURIFIER SYSTEM은 가스 내에 잔존하는 수분 / 금속 등 불순물을 정제하여 공정상 요구되는 고순도의 가스를 안전하게 공급하는 장치입니다.
Chiller System
반도체공정 또는 산업에서 사용되는 Chiller System은 물이나 냉매 등의 열매체를 식혀 순환시킴으로써, 산업용 기계나 장비, 공간의 온도를 일정하게 유지하는 냉각 장치를 의미합니다. 단순히 시원한 바람을 내뿜는 에어컨과 달리, 액체의 온도를 정밀하게 제어하여 배관을 통해 필요한 곳에 냉기를 전달하는 것이 핵심입니다.
